三菱公司拉出长达2m单晶硅棒
来源期刊:轻金属1992年第12期
论文作者:王祝堂
摘 要:<正> 日本三菱材料公司与其子公司(三菱材料硅公司)共同研制成了一种新的连续结晶工艺,通过它能够拉出直径152.4mm、长达2m的单晶硅棒。这是世界上最长的单晶体。现正在对其诸如电阻、氧的浓度、有效寿
王祝堂
摘 要:<正> 日本三菱材料公司与其子公司(三菱材料硅公司)共同研制成了一种新的连续结晶工艺,通过它能够拉出直径152.4mm、长达2m的单晶硅棒。这是世界上最长的单晶体。现正在对其诸如电阻、氧的浓度、有效寿
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