电感耦合等离子体质谱仪故障分析与处理

来源期刊：冶金分析2019年第3期

论文作者：徐崇颖 王茜 杨嘉晖 杨一

文章页码：49 - 53

关键词：电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）;7500系列;故障现象;分析与处理;

摘    要：电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）是一种适用于痕量元素分析的仪器,具有基体效应小、检出限低等特点。本文以安捷伦公司7500系列电感耦合等离子体质谱仪为例,列举了废气排放装置温度高、截取锥锥口频繁损坏、雾化室温度过高、冷却水流量低等4个仪器故障实例,介绍了通过分析仪器设计结构和控制系统原理,进行推理找到仪器故障原因并进行处理的方法。对于电感耦合等离子体质谱仪等精密仪器修复工作中遇到的疑难问题处理,提供了一种思路,采用的处理方法和技巧有利于保持仪器的良好性能。