双压电驱动微泵泵膜的ANSYS仿真和结构优化分析

来源期刊：机械设计与制造2013年第1期

论文作者：邓凯 陈可娟

文章页码：66 - 68

关键词：微泵;压电泵膜;有限元分析;结构优化;

摘    要：提出了一种新型的双压电泵膜结构,分析了泵膜小挠度弯曲形变理论。运用ANSYS软件建立了泵膜的有限元模型,并对泵膜进行了电压驱动静态分析和模态分析,通过正交试验法对泵膜结构进行了优化。分析表明,压电层厚度对膜片形变影响最大,其次依次是驱动电压、泵膜半径、电极层厚度、基层厚度;泵膜半径对膜片频率影响最大,其次依次是压电层厚度、电极层厚度、基层厚度;对泵膜结构进行优化,可以提高微泵的工作效率,研究结果为微泵的优化设计提供了依据。