薄膜X射线应力测试三种衍射几何比较
来源期刊：兵器材料科学与工程2001年第1期
论文作者：张铭 何家文
关键词：掠射侧倾法; 常规法; 侧倾法; 薄膜;
摘 要：对比了薄膜X射线应力测试的三种衍射几何，结果表明掠射侧倾法具有透入深度浅、透入深度随ψ角变化不大、对织构影响不敏感以及没有无应力试样的正、负ψ曲线分离等优点，所以掠射侧倾法是一种更适于薄膜应力测量的测试方法。应用掠射侧倾法测量了PVD和PCVD工艺的TiN薄膜的内应力情况，结果表明制备工艺对于气相沉积膜内的应力状态有较大影响。
张铭1，何家文1
(1.西安交通大学)
摘要:对比了薄膜X射线应力测试的三种衍射几何，结果表明掠射侧倾法具有透入深度浅、透入深度随ψ角变化不大、对织构影响不敏感以及没有无应力试样的正、负ψ曲线分离等优点，所以掠射侧倾法是一种更适于薄膜应力测量的测试方法。应用掠射侧倾法测量了PVD和PCVD工艺的TiN薄膜的内应力情况，结果表明制备工艺对于气相沉积膜内的应力状态有较大影响。
关键词:掠射侧倾法; 常规法; 侧倾法; 薄膜;
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