透明导电氧化物薄膜研究进展
来源期刊:材料导报2006年增刊第1期
论文作者:贺会权 沈玫 张官理 望咏林 颜悦
关键词:氧化物薄膜; 透明导电机理; 制备工艺; ITO; AZO;
摘 要:综述了透明导电氧化物(TCO)薄膜的应用和发展,重点阐述了TCO薄膜的透明导电机理以及制备工艺的最新研究进展,同时对其研究和应用前景进行了展望.
贺会权1,沈玫1,张官理1,望咏林1,颜悦1
(1.北京航空材料研究院,北京,100095)
摘要:综述了透明导电氧化物(TCO)薄膜的应用和发展,重点阐述了TCO薄膜的透明导电机理以及制备工艺的最新研究进展,同时对其研究和应用前景进行了展望.
关键词:氧化物薄膜; 透明导电机理; 制备工艺; ITO; AZO;
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