降低多晶硅还原电耗的途径
来源期刊：世界有色金属1995年第5期
论文作者：朱骏业
摘 要：降低多晶硅还原电耗的途径北京有色冶金设计研究总院朱骏业一、前言多晶硅是单晶硅的原料，最主要的半导体材料。多晶硅生产方法主要有改良西门子法、新硅烷及流化床法。改良西门子法是在西门子工艺的基础上发展而成的，是当今占绝对优势的生产方法，８０％的多晶硅是采用...
朱骏业
北京有色冶金设计研究总院
摘 要：降低多晶硅还原电耗的途径北京有色冶金设计研究总院朱骏业一、前言多晶硅是单晶硅的原料，最主要的半导体材料。多晶硅生产方法主要有改良西门子法、新硅烷及流化床法。改良西门子法是在西门子工艺的基础上发展而成的，是当今占绝对优势的生产方法，８０％的多晶硅是采用...
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