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工艺因素对碳热还原法合成SiC的影响

来源期刊：材料导报2005年增刊第1期

论文作者：薛向欣张淑会杨合刘欣

关键词：碳热还原法; 反应机理; SiC影响因素;

摘要：介绍了碳热还原法合成SiC的反应机理,综述了影响碳热还原法合成SiC的工艺因素,分析并比较了反应温度、碳源及配C量、原料组成和粒度、Ar流量和CO分压以及添加剂等因素对反应速率、产率及相组成的影响.

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薛向欣¹，张淑会¹，杨合¹，刘欣¹

(1.东北大学材料与冶金学院,沈阳,110004)

摘要:介绍了碳热还原法合成SiC的反应机理,综述了影响碳热还原法合成SiC的工艺因素,分析并比较了反应温度、碳源及配C量、原料组成和粒度、Ar流量和CO分压以及添加剂等因素对反应速率、产率及相组成的影响.

关键词:碳热还原法; 反应机理; SiC影响因素;

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