低频机械谱术测量薄膜切变模量及微量油膜探测
来源期刊：金属学报2003年第11期
论文作者：L.B.Magalas 方前锋
关键词：内耗; 机械波谱学; 切变模量; 薄膜; 油膜; internal friction; mechanical spectroscopy; shear modulus; thin film; oil film;
摘 要：描述了工作在共振和次共振模式下的低频机械波谱仪的基本原理.主要介绍了研究金属衬底上薄膜的物理性质的两种方法:第一种方法,用于测量沉积在钼丝上的TiN/Ti(C,N)多层膜的切变模量和内耗;第二种方法,用于探测钢片表面微量油膜的存在.尽管这两种技术有着各自不同的应用目的及对象,但它们均源自能够导致机械能损耗的表面效应.
L.B.Magalas1，方前锋2
(1.Akademia Górniczo-Hutnicza, 30-059 Kraków, Poland;
2.中国科学院固体物理研究所材料物理重点实验室,合肥,230031)
摘要:描述了工作在共振和次共振模式下的低频机械波谱仪的基本原理.主要介绍了研究金属衬底上薄膜的物理性质的两种方法:第一种方法,用于测量沉积在钼丝上的TiN/Ti(C,N)多层膜的切变模量和内耗;第二种方法,用于探测钢片表面微量油膜的存在.尽管这两种技术有着各自不同的应用目的及对象,但它们均源自能够导致机械能损耗的表面效应.
关键词:内耗; 机械波谱学; 切变模量; 薄膜; 油膜; internal friction; mechanical spectroscopy; shear modulus; thin film; oil film;
【全文内容正在添加中】
