甲苯传感器的制作及特性
来源期刊：功能材料与器件学报2009年第6期
论文作者：梁喜双 钟铁钢 全宝富 刘凤敏
关键词：气体传感器; 钠超离子导体; 甲苯; 氧化钐; Gas sensor; Sodium Super Ionic Conductor; Toluene; Samarium Oxide;
摘 要：采用溶胶-凝胶法制备了NASICON(钠超离子导体)固体电解质材料.利用XRD分析了所制备材料的结构,材料的平均粒径约为22nm.以NASICON为离子导电层,Sm_2O_3为敏感电极制作了具有良好敏感特性的C_7H_8气体传感器.在430℃工作温度下,器件对(5-50)×10~(-6)C_7H_8的灵敏度为-75mV/decade.并且对C_7H_8具有较高的选择性和良好的响应恢复特性,器件对5 × 10~(-6)和50×10~(-6)C_7H_8的响应时间分别为45和35秒,恢复时间分别为8和60秒.对器件的敏感机理做以简要的分析.
梁喜双1，钟铁钢1，全宝富1，刘凤敏1
(1.集成光电子国家重点实验室吉林大学实验区吉林大学电子科学与工程学院,长春,130012)
摘要:采用溶胶-凝胶法制备了NASICON(钠超离子导体)固体电解质材料.利用XRD分析了所制备材料的结构,材料的平均粒径约为22nm.以NASICON为离子导电层,Sm_2O_3为敏感电极制作了具有良好敏感特性的C_7H_8气体传感器.在430℃工作温度下,器件对(5-50)×10~(-6)C_7H_8的灵敏度为-75mV/decade.并且对C_7H_8具有较高的选择性和良好的响应恢复特性,器件对5 × 10~(-6)和50×10~(-6)C_7H_8的响应时间分别为45和35秒,恢复时间分别为8和60秒.对器件的敏感机理做以简要的分析.
关键词:气体传感器; 钠超离子导体; 甲苯; 氧化钐; Gas sensor; Sodium Super Ionic Conductor; Toluene; Samarium Oxide;
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