TiO2薄膜原子力显微镜图像多重分形谱的二次函数拟合
来源期刊：功能材料2008年第8期
论文作者：周明飞 宋学萍 孟凡明 孙兆奇 吕建国
关键词：TiO2薄膜; 原子力显微镜; 多重分形谱; 二次函数拟合;
摘 要：用原子力显微镜观察经不同退火温度处理TiO2薄膜的表面形貌,观察结果表明,随着退火温度的升高,颗粒不断长大,数目逐渐减少,表面粗糙度RMS从4.1nm增大到18.4nm.用最小二乘法对原子力显微镜图像多重分形谱进行二次函数拟合,结果显示,随着退火温度的升高,α0从1.999增大到2.008,由正值转变为负值,分形谱宽W由0.064增大到0.246,说明TiO2薄膜表面形貌愈来愈复杂.
周明飞1，宋学萍1，孟凡明1，孙兆奇1，吕建国1
(1.安徽大学,物理与材料科学学院,安徽,合肥,230039)
摘要:用原子力显微镜观察经不同退火温度处理TiO2薄膜的表面形貌,观察结果表明,随着退火温度的升高,颗粒不断长大,数目逐渐减少,表面粗糙度RMS从4.1nm增大到18.4nm.用最小二乘法对原子力显微镜图像多重分形谱进行二次函数拟合,结果显示,随着退火温度的升高,α0从1.999增大到2.008,由正值转变为负值,分形谱宽W由0.064增大到0.246,说明TiO2薄膜表面形貌愈来愈复杂.
关键词:TiO2薄膜; 原子力显微镜; 多重分形谱; 二次函数拟合;
【全文内容正在添加中】
