二维解耦柔性精密定位平台设计

来源期刊：机械设计与制造2015年第11期

论文作者：李茂 毕树生 王玉亮 李晓来

文章页码：26 - 30

关键词：耦合误差;解耦;压电陶瓷;柔性铰链;精密定位;

摘    要：设计了一款基于压电陶瓷和柔性铰链的二维解耦精密定位平台,平台采用对称布置的双平行四杆复合机构实现解耦。基于Awtar模型,对平台载荷-位移关系进行分析,推导出平台在X、Y方向上的位移及耦合位移表达式。ANSYS有限元仿真表明,最大耦合发生在平台最大为一处。在平台位移最大时,理论计算的耦合误差达到最大,为0.39%。这与有限元仿真分析得到的0.33%的结果接近。最后,利用显微视觉测量方法对平台X和Y方向的耦合误差进行了实验测试,实验结果表明,耦合误差随着平台运动位移的增大而增大,最大值为1.8%,与理论仿真趋势吻合。