二元不互溶Cu-Ta体系非晶相的形成
来源期刊：材料研究学报2004年第3期
论文作者：黄昌清 隋曼龄
关键词：金属材料; Cu-Ta非晶相; 共溅射薄膜; 高分辨透射电子显微术; 不互溶体系;
摘 要：利用X射线衍射(XRD)、高分辨透射电子显微术(HRTEM)和X射线能谱(EDS)研究了共溅射Cu-Ta薄膜中非晶相的形成.结果表明,共溅射Cu-Ta薄膜为非晶相,但是其中存在着纳米尺度的Cu晶粒和富Cu的非晶纳米颗粒,即存在纳米尺度的相分离.正的混合热是导致Cu-Ta二元不互溶体系非晶态薄膜相分离的本质原因.
黄昌清1，隋曼龄1
(1.中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家(联合)实验室)
摘要:利用X射线衍射(XRD)、高分辨透射电子显微术(HRTEM)和X射线能谱(EDS)研究了共溅射Cu-Ta薄膜中非晶相的形成.结果表明,共溅射Cu-Ta薄膜为非晶相,但是其中存在着纳米尺度的Cu晶粒和富Cu的非晶纳米颗粒,即存在纳米尺度的相分离.正的混合热是导致Cu-Ta二元不互溶体系非晶态薄膜相分离的本质原因.
关键词:金属材料; Cu-Ta非晶相; 共溅射薄膜; 高分辨透射电子显微术; 不互溶体系;
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