MOD制备的PZT薄膜的相结构发展和成分分析
来源期刊：无机材料学报1999年第1期
论文作者：张良莹 姚熹 包定华 吴小清
关键词：锆钛酸铅薄膜; 结构相变; 成分分析;
摘 要：采用MOD工艺制备了PZT薄膜, 利用XRD和TEM研究了焦绿石相向钙钛矿相的转变过程. 制备在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上的PZT薄膜, 其XRD分析显示焦绿石相在600℃完全转变为钙钛矿相; 与之相比, Pt箔上无支持的PZT薄膜, 其TEM分析表明PZT焦绿石相完全转变为钙钛矿相的温度更高, 且与薄膜的厚度有关. XPS研究表明, 薄膜表面含有化学吸附氧和污染碳, 无其它杂质存在. 表面富含少量Pb, 其Zr/Ti比与化学计量比一致, 但晶格中缺氧.
张良莹1，姚熹1，包定华1，吴小清1
(1.西安交通大学电子材料与器件研究所,西安,710049)
摘要:采用MOD工艺制备了PZT薄膜, 利用XRD和TEM研究了焦绿石相向钙钛矿相的转变过程. 制备在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上的PZT薄膜, 其XRD分析显示焦绿石相在600℃完全转变为钙钛矿相; 与之相比, Pt箔上无支持的PZT薄膜, 其TEM分析表明PZT焦绿石相完全转变为钙钛矿相的温度更高, 且与薄膜的厚度有关. XPS研究表明, 薄膜表面含有化学吸附氧和污染碳, 无其它杂质存在. 表面富含少量Pb, 其Zr/Ti比与化学计量比一致, 但晶格中缺氧.
关键词:锆钛酸铅薄膜; 结构相变; 成分分析;
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