NbF5前驱体化学气相沉积铌涂层的生长动力学
来源期刊：稀有金属材料与工程2018年第1期
论文作者：郑明珉 谭成文 于晓东 李颖 马红磊
文章页码：187 - 190
关键词：铌涂层;化学气相沉积;生长动力学;副产物;
摘 要：采用常压化学气相沉积方法在1150℃下成功制备了组织致密的金属铌涂层,沉积速率达到了250μm/h。通过对沉积后沿进气方向涂层厚度分析,确定了不同位置NbF5、H2、HF及Ar的摩尔分数,对数据进行拟合获得了与实验结果吻合较好的生长动力学方程。进一步分析动力学方程可知副产物HF对于沉积速率影响较大而Ar几乎没有影响。
郑明珉1，谭成文1,2，于晓东1,2，李颖1，马红磊2
1. 北京理工大学2. 中国航天员科研与训练中心
摘 要：采用常压化学气相沉积方法在1150℃下成功制备了组织致密的金属铌涂层,沉积速率达到了250μm/h。通过对沉积后沿进气方向涂层厚度分析,确定了不同位置NbF5、H2、HF及Ar的摩尔分数,对数据进行拟合获得了与实验结果吻合较好的生长动力学方程。进一步分析动力学方程可知副产物HF对于沉积速率影响较大而Ar几乎没有影响。
关键词：铌涂层;化学气相沉积;生长动力学;副产物;
