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金刚石膜氧化行为的TGA分析

来源期刊:材料热处理学报2000年第4期

论文作者:吕反修 黄天斌 佟玉梅 刘敬明 唐伟忠

关键词:金刚石膜; 氧化; 热重分析法(TGA);

摘    要:采用热重分析法(TGA)对直流等离子体喷射制备的金刚石膜在空气中的氧化行为进行了研究,结果表明;直流等离子体喷射制备的金刚石膜氧化激活能为220KJ/mol,与天然金刚石的氧化激活能相当.用扫描电子显微镜(SEM)和Raman光谱对金刚石膜氧化前后的形貌和成分作了分析.结果表明:金刚石膜在空气中氧化优先刻蚀晶界和孔隙,孔隙不断增加,晶界瓦解,金刚石膜成为一个个柱状单晶粉末;金刚石膜氧化前后未出现石墨或其它中间产物.

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金刚石膜氧化行为的TGA分析

吕反修1,黄天斌1,佟玉梅1,刘敬明1,唐伟忠1

(1.北京科技大学材料科学与工程学院,北京,100083)

摘要:采用热重分析法(TGA)对直流等离子体喷射制备的金刚石膜在空气中的氧化行为进行了研究,结果表明;直流等离子体喷射制备的金刚石膜氧化激活能为220KJ/mol,与天然金刚石的氧化激活能相当.用扫描电子显微镜(SEM)和Raman光谱对金刚石膜氧化前后的形貌和成分作了分析.结果表明:金刚石膜在空气中氧化优先刻蚀晶界和孔隙,孔隙不断增加,晶界瓦解,金刚石膜成为一个个柱状单晶粉末;金刚石膜氧化前后未出现石墨或其它中间产物.

关键词:金刚石膜; 氧化; 热重分析法(TGA);

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