Zn1-xCuxO薄膜的结构和光学性质
来源期刊：功能材料2008年第2期
论文作者：王晓飞 诸葛兰剑 吴雪梅
关键词：射频磁控溅射; Cu掺杂; 氧化锌薄膜; 透射率; 光学带隙;
摘 要：采用CS-400型射频磁控溅射仪在Si(111)和石英基底上成功的制备了Zn1-xCuxO薄膜,薄膜的晶体取向和表面形貌用X射线衍射(XRD)仪和扫描电子显微镜 (SEM)进行测量.利用紫外-可见光(UV-vis)分光光度计来测量基片为石英的Zn1-xCuxO薄膜的透射光谱.实验表明,采用射频磁控溅射制备的掺Cu氧化锌薄膜具有(002)峰的择优取向.随着Cu掺入量的增加样品成膜质量降低,禁带宽度减小,透射率下降.
王晓飞1，诸葛兰剑3，吴雪梅1
(1.苏州大学,物理科学与技术学院,江苏,苏州,215006;
2.江苏省薄膜材料重点实验室,江苏,苏州,215006;
3.苏州大学,分析测试中心,江苏,苏州,215006)
摘要:采用CS-400型射频磁控溅射仪在Si(111)和石英基底上成功的制备了Zn1-xCuxO薄膜,薄膜的晶体取向和表面形貌用X射线衍射(XRD)仪和扫描电子显微镜 (SEM)进行测量.利用紫外-可见光(UV-vis)分光光度计来测量基片为石英的Zn1-xCuxO薄膜的透射光谱.实验表明,采用射频磁控溅射制备的掺Cu氧化锌薄膜具有(002)峰的择优取向.随着Cu掺入量的增加样品成膜质量降低,禁带宽度减小,透射率下降.
关键词:射频磁控溅射; Cu掺杂; 氧化锌薄膜; 透射率; 光学带隙;
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