多层介质膜脉冲压缩光栅激光损伤特性研究进展

邱志方¹，王敏辉²，蒲云体³，马平³

1. 武汉理工大学材料科学与工程学院2. 武汉船用电力推进装置研究所特种电池事业部3. 中国工程物理研究院激光核聚变研究中心

摘 要：本文结合国内外研究情况,概括性介绍了用于啁啾脉冲放大系统中的多层介质膜脉冲压缩光栅的激光损伤特性研究进展,包括多层介质膜的损伤、表面浮雕结构的损伤,以及介质膜光栅损伤的影响因素。在关于介质膜光栅激光损伤的影响因素中又分别介绍了槽型结构、制备工艺、激光参数、脉冲数量、热应力和杂质缺陷对其抗激光损伤阈值的影响。最后,从结构设计、制备工艺以及后期处理等方面,介绍了提高多层介质膜光栅抗激光损伤阈值的常用方法。

关键词：多层介质膜脉冲压缩光栅;激光损伤;影响因素;损伤阈值;