热处理对TiAlCN涂层组织和性能的影响
来源期刊：材料热处理学报2009年第1期
论文作者：张旭海 江静华 曾宇乔 陈倩栎 蒋建清 方峰
关键词：TIAlCN; 热处理; 硬度;
摘 要：在Ar气条件下,对反应磁控溅射法制备的TiAlCN涂层进行500～1100℃热处理.采用XRD、Raman和DSC,研究不同热处理温度下涂层微观结构的变化,利用显微硬度计和划痕仪研究热处理对涂层性能的影响.结果表明,经600～800℃热处理后,涂层非晶碳相明显增加,使涂层形成纳米复合结构,这导致显微硬度显著增加,膜基结合性能增加;在900～1100℃热处理后,由于涂层中六方AlN相的析出,导致涂层显微硬度急剧下降,且韧性下降.
张旭海1，江静华1，曾宇乔1，陈倩栎1，蒋建清1，方峰1
(1.江苏省先进金属材料高技术研究重点实验室,东南大学材料科学与工程学院,江苏,南京,211189)
摘要:在Ar气条件下,对反应磁控溅射法制备的TiAlCN涂层进行500～1100℃热处理.采用XRD、Raman和DSC,研究不同热处理温度下涂层微观结构的变化,利用显微硬度计和划痕仪研究热处理对涂层性能的影响.结果表明,经600～800℃热处理后,涂层非晶碳相明显增加,使涂层形成纳米复合结构,这导致显微硬度显著增加,膜基结合性能增加;在900～1100℃热处理后,由于涂层中六方AlN相的析出,导致涂层显微硬度急剧下降,且韧性下降.
关键词:TIAlCN; 热处理; 硬度;
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