高纯Er2O3靶材的低温无压烧结及性能研究
来源期刊：稀有金属与硬质合金2009年第4期
论文作者：邓燕来 邓志军
文章页码：15 - 38
关键词：纳米Er2O3粉;高纯Er2O3靶材;低温无压烧结;密度;断口形貌;
摘 要：以纳米Er2O3粉为原料,通过1 450℃低温无压烧结,成功制取了相对密度为近90%的高纯Er2O3陶瓷靶材。对采用不同形状纳米Er2O3粉所制靶材进行了断口形貌分析及密度测试,相关结果表明,以三维近球形纳米Er2O3粉为原料,在低温无压下烧结所制得靶材的性能较优。
邓燕来，邓志军
湖南稀土金属材料研究院
摘 要：以纳米Er2O3粉为原料,通过1 450℃低温无压烧结,成功制取了相对密度为近90%的高纯Er2O3陶瓷靶材。对采用不同形状纳米Er2O3粉所制靶材进行了断口形貌分析及密度测试,相关结果表明,以三维近球形纳米Er2O3粉为原料,在低温无压下烧结所制得靶材的性能较优。
关键词：纳米Er2O3粉;高纯Er2O3靶材;低温无压烧结;密度;断口形貌;
