GCr15钢领基体磁控溅射类金刚石薄膜的工艺

来源期刊：材料保护2015年第10期

论文作者：赵帅 毕雅萱

文章页码：23 - 32

关键词：磁控溅射法;DLC薄膜;GCr15钢领;组织结构;摩擦磨损性能;

摘    要：为了提高钢领表面耐磨性,采用中频非平衡磁控溅射法在经热处理的GCr15钢领上制备了类金刚石(DLC)薄膜,并对不同磁控溅射功率、负偏压下制备的DLC薄膜进行了组织结构分析和摩擦磨损性能测试。结果表明:随着溅射功率、负偏压增加,DLC薄膜的Raman谱G峰位置和ID/IG值均整体上呈增加趋势,sp3键含量减少,石墨化程度增加;负偏压恒定为100 V时功率为8 k W以及功率恒定为5 k W时负偏压120 V,制备的DLC薄膜具有较小的摩擦系数和稳定的抗磨损性能。