退火处理Fe(Co)Al(Zr)O系薄膜磁性能的研究
来源期刊：材料科学与工程学报2005年第6期
论文作者：叶超群 徐政
关键词：磁性薄膜; Fe(Co)Al(Zr)O; 磁控溅射;
摘 要：采用射频磁控溅射装置在氩气氛下制备了Fe(Co)Al(Zr)O系薄膜.用X射线衍射仪、透射电镜及其选区衍射来分析薄膜的微结构.用振动样品磁强计、磁导计等测量了矫顽力Hc、饱和磁化强度Ms及磁导率等磁性参数.通过退火处理研究了Fe(Co)Al(Zr)O系薄膜的磁性能.Fe(Co)Al(Zr)O系薄膜磁各向异性是由形状各向异性引起的.
叶超群1，徐政1
(1.同济大学材料科学与工程学院;
2.上海市金属功能材料应用开发重点实验室,上海,200092)
摘要:采用射频磁控溅射装置在氩气氛下制备了Fe(Co)Al(Zr)O系薄膜.用X射线衍射仪、透射电镜及其选区衍射来分析薄膜的微结构.用振动样品磁强计、磁导计等测量了矫顽力Hc、饱和磁化强度Ms及磁导率等磁性参数.通过退火处理研究了Fe(Co)Al(Zr)O系薄膜的磁性能.Fe(Co)Al(Zr)O系薄膜磁各向异性是由形状各向异性引起的.
关键词:磁性薄膜; Fe(Co)Al(Zr)O; 磁控溅射;
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