CrCuN薄膜择优取向与价电子结构的关系研究

来源期刊：功能材料2013年第22期

论文作者：谈淑咏 张旭海 张炎 蒋建清

文章页码：3296 - 3300

关键词：EET;CrCuN纳米复合膜;界面电子密度差;择优取向;

摘    要：基于固体和分子经验电子理论（EET）计算了CrN和Cu的价电子结构及晶面电子密度的变化,分析了CrCuN纳米复合膜择优取向与价电子结构的关系。计算结果显示,CrN（100）/Cu（111）具有较低的电子密度差,薄膜中易存在此种界面结构。当薄膜中Cu含量较多时,Cu易于（111）择优生长,而CrN则按（100）CrN/（111）Cu位向关系在其表面形核,从而有助于CrCuN薄膜中CrN[200]取向的增强。该计算结果与实验事实相符合,为Cr-N基纳米复合膜的微结构研究和设计提供了新思路。