共沉淀粉末与混合粉烧结ITO靶材的微观组织结构研究（英文）

来源期刊：稀有金属材料与工程2015年第12期

论文作者：马晓波 张维佳 王东新 孙本双 钟景明

文章页码：2937 - 2942

关键词：ITO靶材;ITO共沉淀粉末;In₂O₃-SnO₂单体混合粉;微观结构;烧结机制;

摘    要：磁控溅射ITO靶材制备ITO透明导电薄膜作为平板显示、太阳能电池、气敏元件等电子器件的电极材料,需要ITO靶材具有高纯度、高均匀性、高密度、高导电性的特点。对比研究了ITO共沉淀粉与In₂O₃、SnO₂单体混合粉同炉烧结ITO靶材的微观组织结构差异,如:晶粒尺寸分布、晶粒形貌、元素分布、烧结速率等。结果表明:单体混合粉的烧结速率要比共沉淀粉的烧结速率高,但是前者烧结ITO靶材的微观组织结构不及后者烧结的均匀性好。对比而言,共沉淀粉更容易获得结构组织均匀的ITO靶材,但前提是要合理的设计烧结工艺抑制烧结过程中In₂O₃的分解。研究结果将会对提高ITO靶材微观组织均匀性和减少靶材毒化,进而提高靶材生产效率提供有益的参考。