二氧化钒薄膜材料相变临界场强调控方法研究

来源期刊：材料导报2018年第6期

论文作者：山世浩 王庆国 曲兆明 成伟 李昂

文章页码：870 - 873

关键词：无机溶胶-凝胶法;二氧化钒薄膜;真空退火;相变临界场强;

摘    要：采用无机溶胶-凝胶法并结合真空退火工艺在Al₂O₃陶瓷基片上制备了二氧化钒及其他价态钒氧化物共存的薄膜材料。研究了退火时间对VO₂、V₂O₅、V₆O₁₃、V₆O₁₁等价态成分和含量的影响以及对薄膜的相变临界温度和相变临界电场强度的影响。实验采用的退火时间分别为10h、8h及6h,得到的薄膜的相变临界电场强度分别为1.8 MV/m、0.8 MV/m及0.4 MV/m,相变场强降低75%以上,且随着电场强度相变点的降低,薄膜材料相变点前后电阻变化倍数也降低,但相变临界温度没有明显变化。研究结果表明:通过控制真空退火时间能够实现对电场强度相变点的有效调控,利用该方法可以研制不同相变临界场强的薄膜材料,以适应不同电磁环境的防护应用要求。