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空芯光纤中沉积多晶态GeO2薄膜的实验研究

来源期刊：材料科学与工艺2001年第1期

论文作者：侯蓝田关兵何军侯峙云周桂耀

关键词：空芯光纤; 二氧化锗; 温度梯度; 流速;

摘要：通过缩短高温炉与冷却器的距离，使化学反应区与沉积区的温度梯度增加到约9℃/mm，进而使GeCl4与O2可在内径为1.0mm的空芯石英管内壁沉积上颗粒度约0.1 μm、厚度为3.0μm的多晶态GeO2介质膜，使表面更加光滑，提高了光纤的传输性能，光纤的传输损耗小于0.8dB/m.

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侯蓝田¹，关兵²，何军²，侯峙云¹，周桂耀¹

(1.燕山大学红外先纤与传感研究所,;
2.吉林大学物理系,)

摘要:通过缩短高温炉与冷却器的距离，使化学反应区与沉积区的温度梯度增加到约9℃/mm，进而使GeCl4与O2可在内径为1.0mm的空芯石英管内壁沉积上颗粒度约0.1 μm、厚度为3.0μm的多晶态GeO2介质膜，使表面更加光滑，提高了光纤的传输性能，光纤的传输损耗小于0.8dB/m.

关键词:空芯光纤; 二氧化锗; 温度梯度; 流速;

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