Quanta 400F扫描电子显微镜的故障分析与保养维护
来源期刊：理化检验物理分册2017年第2期
论文作者：姚丽娟 龙伟 靳长清 金耀华 朱满
文章页码：120 - 122
关键词：扫描电镜;故障分析;保养维护;
摘 要：Quanta 400F扫描电镜为常规的大型精密仪器,在运行过程中常常会出现各种设备故障。做好扫描电镜日常管理工作,可提高其各部件的使用寿命。主要介绍了该扫描电镜一些常见的故障及排除方法,包括冷却循环系统故障和真空系统故障;另外还介绍了扫描电镜易耗损件的保养维护措施,包括灯丝和物镜光阑的保养及维护。
姚丽娟，龙伟，靳长清，金耀华，朱满
西安工业大学材料与化工学院
摘 要：Quanta 400F扫描电镜为常规的大型精密仪器,在运行过程中常常会出现各种设备故障。做好扫描电镜日常管理工作,可提高其各部件的使用寿命。主要介绍了该扫描电镜一些常见的故障及排除方法,包括冷却循环系统故障和真空系统故障;另外还介绍了扫描电镜易耗损件的保养维护措施,包括灯丝和物镜光阑的保养及维护。
关键词：扫描电镜;故障分析;保养维护;
