脉冲偏压电弧离子镀Zr-Me-N（Me=Cr,Al,Cu）薄膜性能研究（英文）
来源期刊：稀有金属材料与工程2013年第S2期
论文作者：张林 林国强 马国佳 魏科科 段仲伟
文章页码：83 - 86
关键词：电弧离子镀;三元氮化物;力学性能;摩擦系数;
摘 要：利用脉冲偏压电弧离子镀在高速钢和Si基体上沉积锆基三元氮化物薄膜Zr-Me-N（Me=Al,Cr,Cu）。采用EPMA、XRD、SEM、接触角、纳米压痕、划痕仪以及摩擦磨损试验机分别研究薄膜的组分、结构、润湿性、力学性能和摩擦学性能。研究表明:Zr-Cr-N和Zr-Cu-N薄膜为单一相fcc B1（NaCl）结构;薄膜具有良好的结合力和较高的水接触角;ZrN中掺入过量的Al导致薄膜的力学性能降低。Zr-Cu-N薄膜显微硬度最高,达到35.5 GPa,而且纳米复合Zr-Cu-N薄膜能有效地降低摩擦系数。
张林1,2，林国强1，马国佳1,2，魏科科1，段仲伟1
1. 大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室2. 北京航空制造工程研究所高能束流加工技术重点实验室
摘 要：利用脉冲偏压电弧离子镀在高速钢和Si基体上沉积锆基三元氮化物薄膜Zr-Me-N（Me=Al,Cr,Cu）。采用EPMA、XRD、SEM、接触角、纳米压痕、划痕仪以及摩擦磨损试验机分别研究薄膜的组分、结构、润湿性、力学性能和摩擦学性能。研究表明:Zr-Cr-N和Zr-Cu-N薄膜为单一相fcc B1（NaCl）结构;薄膜具有良好的结合力和较高的水接触角;ZrN中掺入过量的Al导致薄膜的力学性能降低。Zr-Cu-N薄膜显微硬度最高,达到35.5 GPa,而且纳米复合Zr-Cu-N薄膜能有效地降低摩擦系数。
关键词：电弧离子镀;三元氮化物;力学性能;摩擦系数;
