基于微电子机械系统微型光谱仪的研究与进展
来源期刊：冶金分析2006年第4期
论文作者：李小佳 王永清 娄建中 王海舟 马雯
关键词：微电子机械系统技术; 微机械加工技术; 微型光谱仪; 研究; 进展;
摘 要：结合已报道的微型光谱仪,介绍了微电子机械系统技术在多种微型光谱仪中的应用,详细阐述了这些微型光谱仪的原理和相应的制作工艺,并展望了随着微电子机械系统技术的发展,微型光谱仪的应用前景和发展趋势.
李小佳1，王永清1，娄建中2，王海舟1，马雯2
(1.钢铁研究总院,北京,100081;
2.河北大学电子信息工程学院,河北,保定,071002)
摘要:结合已报道的微型光谱仪,介绍了微电子机械系统技术在多种微型光谱仪中的应用,详细阐述了这些微型光谱仪的原理和相应的制作工艺,并展望了随着微电子机械系统技术的发展,微型光谱仪的应用前景和发展趋势.
关键词:微电子机械系统技术; 微机械加工技术; 微型光谱仪; 研究; 进展;
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