脆性材料截面透射电镜样品的制备
来源期刊:理化检验物理分册2011年第4期
论文作者:王燕飞 黄宛真 郑遗凡 胡仙超 苏伟涛 杨倩
文章页码:225 - 228
关键词:透射电镜;截面样品;制样;离子减薄;
摘 要:针对脆性材料截面透射电镜样品制样难的问题,详细介绍一种改进的离子减薄法制备脆性材料截面TEM样品的方法,即先制备层叠矩形薄片,然后使用低速锯切取出层叠薄片,再用切割工具切割出φ3mm的圆片,最后采用凹坑研磨和抛光及离子减薄法完成样品的制备。大量操作试验证明该方法具有成本低、操作方便等优点,提高了截面TEM样品的制样成功率;采用该方法可快速制备硅基底上生长的薄膜层的TEM样品,然后用TEM可清晰观察到薄膜层的生长情况。
王燕飞1,2,黄宛真1,郑遗凡1,2,胡仙超1,苏伟涛3,杨倩1,2
1. 浙江工业大学分析测试中心2. 浙江工业大学化学工程与材料学院3. 杭州电子科技大学
摘 要:针对脆性材料截面透射电镜样品制样难的问题,详细介绍一种改进的离子减薄法制备脆性材料截面TEM样品的方法,即先制备层叠矩形薄片,然后使用低速锯切取出层叠薄片,再用切割工具切割出φ3mm的圆片,最后采用凹坑研磨和抛光及离子减薄法完成样品的制备。大量操作试验证明该方法具有成本低、操作方便等优点,提高了截面TEM样品的制样成功率;采用该方法可快速制备硅基底上生长的薄膜层的TEM样品,然后用TEM可清晰观察到薄膜层的生长情况。
关键词:透射电镜;截面样品;制样;离子减薄;