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柔性衬底氧化物半导体透明导电膜的研究进展

来源期刊：功能材料2002年第4期

论文作者：张德恒王卿璞郝晓涛马瑾马洪磊程传福田茂华杨莺歌

关键词：柔性衬底; 氧化物半导体; 透明导电膜;

摘要：回顾和评述了柔性衬底氧化物透明导电膜(包括锡掺杂的三氧化二ITO薄膜、铝掺杂的氧化锌AZO薄膜等)的研究进展情况.报道了在柔性衬底上制备的ITO膜、ZnO膜的光电性质对衬底种类、制备工艺以及制备参数的依赖关系,给出了在此领域内应进一步进行的工作.

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张德恒¹，王卿璞¹，郝晓涛¹，马瑾¹，马洪磊¹，程传福²，田茂华¹，杨莺歌¹

(1.山东大学物理与微电子学院,山东,济南,250100;
2.山东师范大学物理系,山东济南,250014)

摘要:回顾和评述了柔性衬底氧化物透明导电膜(包括锡掺杂的三氧化二ITO薄膜、铝掺杂的氧化锌AZO薄膜等)的研究进展情况.报道了在柔性衬底上制备的ITO膜、ZnO膜的光电性质对衬底种类、制备工艺以及制备参数的依赖关系,给出了在此领域内应进一步进行的工作.

关键词:柔性衬底; 氧化物半导体; 透明导电膜;

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