扫描电子显微镜—X射线显微分析仪进行状态分析的探索

来源期刊：云南冶金1978年第4期

论文作者：李文钟

文章页码：61 - 64

摘    要：<正> 由于显微分析仪有其特点,为分析区域小,可得出微米级范围内的各种信息,可进行超软X射线的分析,且由于试样内的X射线发生深度浅,即使波长长的软X射线在试样内的吸收边较少,X射线和超软X射线的测定灵敏度比X射线荧光激发好得多。因此,利用X射线显微分析进行状态分析已逐渐引起一些研究者的注意,开展了一些研究工作。本文试图将我们进行的一点探索性工作简述如下。一、分析原理用显微分析仪从试样获得的信息种类很多,总的可划分为电子束的和电磁波的,所得到的情况是按组成物质的元素成