Pb1-xLaxTiO3薄膜的制备及介电特性研究
来源期刊:材料科学与工程学报2000年第3期
论文作者:沈明荣 葛水兵 朱卫东 甘肇强 郑分刚
关键词:溶胶-凝胶; PLT薄膜;
摘 要:用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si(100)基底上制备Pb1-xLaxTiO3(PLT,x<0.2)薄膜,研究薄膜的结构及其介电、铁电性能.在600℃下退火1小时的PLT薄膜表现出单一的钙钛矿结构,(100)择优取向明显.在室温下PLT薄膜有典型的电滞回线.在x<0.2(摩尔比)的范围内,PLT薄膜相对介电常数则随着La的增加而增加.
沈明荣1,葛水兵1,朱卫东1,甘肇强1,郑分刚1
(1.苏州大学物理系薄膜材料实验室,江苏,苏州,215006)
摘要:用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si(100)基底上制备Pb1-xLaxTiO3(PLT,x<0.2)薄膜,研究薄膜的结构及其介电、铁电性能.在600℃下退火1小时的PLT薄膜表现出单一的钙钛矿结构,(100)择优取向明显.在室温下PLT薄膜有典型的电滞回线.在x<0.2(摩尔比)的范围内,PLT薄膜相对介电常数则随着La的增加而增加.
关键词:溶胶-凝胶; PLT薄膜;
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