紫外激光对触摸屏产品中不可视区域刻蚀实验研究

狄建科^1,2,3，周明^1,2，赵裕兴³，王星罡^1,2，李健^1,2，张伟^1,2

1. 江苏省光子制造科学技术中心重点实验室2. 江苏大学材料科学与工程学院3. 苏州德龙激光有限公司

摘 要：采用紫外激光对触摸屏产品中不可视区域进行刻蚀分析,探究了紫外激光刻蚀原理,讨论了银浆薄膜激光刻蚀与传统印刷工艺异同点,并在此基础上完成一套紫外激光刻蚀系统方案的设计和建造。实验结果表明,选用波长为355nm的紫外激光器,当激光器功率为10W,重复频率100kHz,刻蚀速度为1500mm/s,刻蚀次数1次时,薄膜被完全刻蚀,最终获得功能良好的银浆线路。经测试后发现,所刻蚀后银浆线条平直而光滑,边缘热影响区域较小,最小刻蚀线宽可以达到10μm,基板未受到损伤;与传统印刷工艺相比较,简化了工艺步骤,产品良品率得到提升,是一种无排放的绿色环保先进的刻蚀工艺。

关键词：紫外激光;激光刻蚀;薄膜;触摸屏;