Pt浓度对磁控溅射制备Co1-xPtx:C薄膜的影响
来源期刊：功能材料与器件学报2005年第2期
论文作者：张效岩 覃文
关键词：CoPt:C薄膜; Pt浓度; 磁性能; 磁控溅射;
摘 要：采用组合靶,利用磁控共溅射技术制备了Co1-xPtx:C复合纳米颗粒薄膜,研究发现CoPt粒子取向和磁性能与CoPt:C薄膜中的Pt浓度有密切关系,在较高Pt浓度的CoPt:C薄膜中观察到垂直各向异性现象.通过改变Pt浓度,可以获得粒子粒径小于10nm、矫顽力可控、高的垂直磁晶各向异性能的薄膜.综合考虑,薄膜的最佳成分为Co47Pt53:C,此时矫顽方达到最大.
张效岩1，覃文1
(1.上海交通大学微纳米科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030)
摘要:采用组合靶,利用磁控共溅射技术制备了Co1-xPtx:C复合纳米颗粒薄膜,研究发现CoPt粒子取向和磁性能与CoPt:C薄膜中的Pt浓度有密切关系,在较高Pt浓度的CoPt:C薄膜中观察到垂直各向异性现象.通过改变Pt浓度,可以获得粒子粒径小于10nm、矫顽力可控、高的垂直磁晶各向异性能的薄膜.综合考虑,薄膜的最佳成分为Co47Pt53:C,此时矫顽方达到最大.
关键词:CoPt:C薄膜; Pt浓度; 磁性能; 磁控溅射;
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