GaN薄膜制备技术的研究进展
来源期刊：材料导报2010年第S1期
论文作者：赵丹 梁建 赵君芙 马淑芳 张华 许并社
文章页码：299 - 303
关键词：GaN薄膜;制备技术;研究进展;
摘 要：综述了近年来国内外GaN薄膜制备技术的研究进展,并重点介绍了其发展历程、所使用的设备和技术、各自的优缺点及应用前景。通过比较这些技术的优缺点展望了制备GaN薄膜技术的发展前景。
赵丹1,2，梁建1,2，赵君芙1,2，马淑芳1,2，张华1,2，许并社1,2
1. 太原理工大学新材料界面科学与工程省部共建教育部重点实验室2. 太原理工大学材料科学与工程学院
摘 要：综述了近年来国内外GaN薄膜制备技术的研究进展,并重点介绍了其发展历程、所使用的设备和技术、各自的优缺点及应用前景。通过比较这些技术的优缺点展望了制备GaN薄膜技术的发展前景。
关键词：GaN薄膜;制备技术;研究进展;
