墨水直写、喷墨打印和激光直写技术及其在微电子器件中的应用

来源期刊：材料导报2017年第9期

论文作者：陈燎 唐兴伟 周涵 范同祥

文章页码：158 - 164

关键词：直写技术;微电子制造;电极;

摘    要：直写技术是一种新型微加工技术,其加工过程不需模板并可在亚微米至厘米范围实现材料加工成型。墨水直写、喷墨打印和激光直写作为最常用的直写技术,具有强大的二维、三维成型能力和优异的成型精度,可实现金属、陶瓷、聚合物、水凝胶等复杂构型的程序化构筑,被广泛应用于微电子、组织工程、微流控等领域。阐述了这3种直写技术的构型原理和材料选择,重点介绍了其在微电子器件制造中的应用,讨论了当前研究的难点和热点问题,并对其未来发展趋势进行了展望。