蒸镀层厚度的电子探针测定法
来源期刊:云南冶金1998年第4期
论文作者:李韬
文章页码:3 - 5
关键词:电子探针;蒙特卡洛法;镀膜厚度;
摘 要:研究了电子探针测量镀膜厚度的方法。结果表明,用蒙特———卡洛模拟法测量镀膜厚度是简易而准确的。
李韬
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