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一种测量硬质薄膜残余应力的新方法

来源期刊：金属学报2008年第1期

论文作者：华伟刚杜昊孙超宫骏赵升升李家宝

关键词：硬质薄膜; 残余应力; 测量方法; 剥层曲率半径法;

摘要：提出了一种测量硬质薄膜残余应力的新方法--剥层曲率半径法,并设计了一套光杠杆系统,可以精确测量镀膜洋品因薄膜存在残余应力而造成试片弯曲的曲率半径,从而计算出薄膜的残余应力.通过对仪器测量误差的考察和电弧离子镀(Ti,Al)N薄膜残余应力的测定,证明了该方法的有效性.

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华伟刚¹，杜昊¹，孙超¹，宫骏¹，赵升升¹，李家宝¹

(1.中国科学院金属研究所,沈阳,110016)

摘要:提出了一种测量硬质薄膜残余应力的新方法--剥层曲率半径法,并设计了一套光杠杆系统,可以精确测量镀膜洋品因薄膜存在残余应力而造成试片弯曲的曲率半径,从而计算出薄膜的残余应力.通过对仪器测量误差的考察和电弧离子镀(Ti,Al)N薄膜残余应力的测定,证明了该方法的有效性.

关键词:硬质薄膜; 残余应力; 测量方法; 剥层曲率半径法;

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