1Cr18Ni9Ti不锈钢表面Al₂O₃阻氚涂层磁控溅射-微弧氧化法制备技术研究

来源期刊：功能材料2016年第9期

论文作者：吴艳萍 王庆富 蒋驰 王勤国 巫泉文

文章页码：9187 - 9191

关键词：微弧氧化;阻氚涂层;Al2O3涂层;

摘    要：采用磁控溅射技术在1Cr18Ni8Ti不锈钢表面制备出铝镀层,并对其进行微弧氧化处理,获得了氧化铝阻氚涂层。采用XRD,SEM表征涂层的结构和形貌。结果表明,磁控溅射制备的铝镀层非常致密,微弧氧化得到的氧化铝涂层由外层的疏松层和内层的致密层组成,微弧区瞬间高温烧结作用使微弧氧化膜具有晶态氧化物陶瓷相结构。氧化铝涂层由α-Al₂O₃相和γ-Al₂O₃相组成,冷却速率大,外层形成γ-Al₂O₃相,由于外层γ-Al₂O₃包覆和热扩散阻挡作用,内层的氧化铝冷却速度小,生成稳态相α-Al₂O₃的含量增加,随着涂层厚度增加,α-Al₂O₃相含量提高。