金属薄膜屈服强度的鼓包法表征

来源期刊：材料科学与工程学报2017年第4期

论文作者：姚春国 王子菡 龙士国 陈龙 邓方鑫

文章页码：622 - 625

关键词：鼓包法;镍薄膜;屈服强度;全场变形;DSCM;小挠度;

摘    要：本文采用鼓包法研究金属薄膜的屈服强度,对具有圆形自由窗口的镍薄膜一侧施加压力,薄膜受压变形的全场形貌用数字散斑相关法（DSCM）进行测量,并应用板壳理论分析小挠度变形下膜内应力分布情况。结果表明:圆形薄膜受压时首先从边缘开始屈服,从压力-挠度曲线偏离线性关系的临界点得到金属镍膜的屈服强度为467MPa,这和单轴拉伸法测量所得到的屈服强度值吻合较好。