电感耦合等离子体质谱法检测氧化镓中杂质元素

来源期刊：分析试验室2009年第12期

论文作者：全玉

文章页码：107 - 110

关键词：ICP-MS;杂质元素;氧化镓;微波消解;碰撞室技术;

摘    要：建立了电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）测定氧化镓中杂质元素的检测方法,采用微波消解技术溶样,以5 ng/mL Rh为内标补偿校正镓基体的抑制效应,采用碰撞室技术（CCT）消除多元素分子离子的干扰。方法的检出限为0.10～1.0 ng/mL,加标回收率在85%～110%之间,RSD为0.6%～7.1%。该方法能满足99.95%～99.995%氧化镓中杂质元素的分析要求。