钼及钼合金溅射靶材的研究现状与发展趋势
来源期刊：粉末冶金技术2018年第5期
论文作者：陈艳芳 谢敬佩 王爱琴 马窦琴 杨康 郭惠丹
文章页码：393 - 398
关键词：钼;钼合金;溅射靶材;研究现状;发展趋势;
摘 要：钼及钼合金具有熔点高、导电导热性好、热膨胀系数低、耐腐蚀性能好及环境友好等优点,利用钼及钼合金加工制备的溅射靶材已广泛应用于电子电器、太阳能电池及玻璃镀膜等领域。本文介绍了对钼及钼合金溅射靶材的基本要求及制备方法,系统综述了目前国内外对钼、钼钛、钼钠、钼铌合金靶材的研究现状,并对钼及钼合金溅射靶材未来的发展趋势进行了展望。
陈艳芳1，谢敬佩1,2，王爱琴1，马窦琴1,2，杨康1，郭惠丹1
1. 河南科技大学材料科学与工程学院2. 有色金属共性技术河南省协同创新中心
摘 要：钼及钼合金具有熔点高、导电导热性好、热膨胀系数低、耐腐蚀性能好及环境友好等优点,利用钼及钼合金加工制备的溅射靶材已广泛应用于电子电器、太阳能电池及玻璃镀膜等领域。本文介绍了对钼及钼合金溅射靶材的基本要求及制备方法,系统综述了目前国内外对钼、钼钛、钼钠、钼铌合金靶材的研究现状,并对钼及钼合金溅射靶材未来的发展趋势进行了展望。
关键词：钼;钼合金;溅射靶材;研究现状;发展趋势;
