纳米阻抗显微镜的研制及商品化

关景新¹，黄龙飞¹，吴浚瀚²，丁喜冬¹

(1.中山大学,物理科学与工程技术学院,广州,510275;
2.本原纳米仪器有限公司,北京,100080)

摘要:纳米阻抗显微镜(Nanoscale impedance microscopy,NIM)能够测量材料表面的纳米微区阻抗性质,已经成为纳米材料表征的重要工具,得到越来越多的应用;但其应用目前仅局限于实验室范围,而国内尚未有纳米阻抗显微镜研究的文献报道.本文主要介绍纳米阻抗显微镜的基本原理及其仪器的研制.以国内外现有的扫描探针显微镜仪器为基础,研制出了两套不同的纳米阻抗显微镜样机,并率先实现了这种技术的商品化,还利用该技术开展了氧化锌多晶陶瓷材料的应用研究.

关键词:纳米阻抗; 扫描探针显微镜; 商品化;

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