CdZnTe晶体生长用石英管的镀碳工艺研究
来源期刊：功能材料与器件学报2005年第2期
论文作者：刘洪涛 李万万 闵嘉华 桑文斌 樊建荣 钱永彪
关键词：镀碳; 推力分析; CdZnTe晶体;
摘 要：使用金相显微镜、推力分析仪测试等手段研究了镀碳工艺参数对碳膜的表面形貌、碳膜和石英结合力的影响.获得了一个优化的镀碳工艺参数,即在镀碳温度为950～1100℃,气体流量为4～7ml/h,镀碳时间为6h,冷却时间为12h的条件下得到的碳膜较为均匀,而且和石英结合的较好.使用该工艺条件镀膜的石英管生长出的CdZnTe晶体表面光洁,位错密度低,约为4×104cm-2.
刘洪涛1，李万万1，闵嘉华1，桑文斌1，樊建荣1，钱永彪1
(1.上海大学,材料学院电子信息材料系,上海,200072)
摘要:使用金相显微镜、推力分析仪测试等手段研究了镀碳工艺参数对碳膜的表面形貌、碳膜和石英结合力的影响.获得了一个优化的镀碳工艺参数,即在镀碳温度为950～1100℃,气体流量为4～7ml/h,镀碳时间为6h,冷却时间为12h的条件下得到的碳膜较为均匀,而且和石英结合的较好.使用该工艺条件镀膜的石英管生长出的CdZnTe晶体表面光洁,位错密度低,约为4×104cm-2.
关键词:镀碳; 推力分析; CdZnTe晶体;
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