电液伺服阀用压电弯曲元件特性的实验研究
来源期刊:材料工程2008年增刊第1期
论文作者:程光明 鄂世举 杨志刚
关键词:压电弯曲元件; 实验研究; 电液伺服阀; piezoelectric bending actuator; experiment research; hydroelectric servo-valve;
摘 要:研制了一种压电弯曲元件型压电驱动器,该驱动器用于电液伺服阀的电-机械转换器.压电驱动器由三层结构构建,其中中间弹性层为铍青铜,在铍青铜的上下表面各粘接一片压电晶片,材料为PZT-5H.利用激光测微仪LC-2400A及LV-1610对压电驱动器的输出位移、位移滞环及谐振频率进行了实验测量,分析了压电驱动器尺寸与其特性之间的关系.实验结果表明,该驱动器满足所设计电液伺服阀的性能要求.
程光明1,鄂世举2,杨志刚1
(1.吉林大学机械学院,长春,130025;
2.浙江师范大学机械设备与测控技术研究所,浙江,金华,321004)
摘要:研制了一种压电弯曲元件型压电驱动器,该驱动器用于电液伺服阀的电-机械转换器.压电驱动器由三层结构构建,其中中间弹性层为铍青铜,在铍青铜的上下表面各粘接一片压电晶片,材料为PZT-5H.利用激光测微仪LC-2400A及LV-1610对压电驱动器的输出位移、位移滞环及谐振频率进行了实验测量,分析了压电驱动器尺寸与其特性之间的关系.实验结果表明,该驱动器满足所设计电液伺服阀的性能要求.
关键词:压电弯曲元件; 实验研究; 电液伺服阀; piezoelectric bending actuator; experiment research; hydroelectric servo-valve;
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