钛过镀层对类金刚石薄膜的膜基结合力以及摩擦学性能的影响
来源期刊：功能材料2008年第8期
论文作者：石志锋 黄楠 朱生发 孙鸿
关键词：过渡层; 膜基结合力; 摩擦学性能; 临界载荷;
摘 要：采用双弧磁过滤真空弧源,在钴铬合金基体上成功地沉积了Ti/DLC多层膜,其钛过渡层利用不同的负偏压来制备.利用纳米划痕法来评价薄膜的膜基结合力,类金刚石薄膜的摩擦性能在销盘式摩擦磨损试验机进行测试.划痕法的结果均表明,增加钛的过镀层后薄膜的结合状况得到明显的改善,纳米划痕法测试膜基结合力表明其临界载荷可达到740mN,摩擦磨损实验可以看出镀膜后的样品的摩擦系数均在0.1左右,DLC薄膜可极大地改善钴铬合金的摩擦学性能.
石志锋1，黄楠1，朱生发1，孙鸿1
(1.西南交通大学,材料工程学院,生物材料及表面工程研究所,四川,成都,610031)
摘要:采用双弧磁过滤真空弧源,在钴铬合金基体上成功地沉积了Ti/DLC多层膜,其钛过渡层利用不同的负偏压来制备.利用纳米划痕法来评价薄膜的膜基结合力,类金刚石薄膜的摩擦性能在销盘式摩擦磨损试验机进行测试.划痕法的结果均表明,增加钛的过镀层后薄膜的结合状况得到明显的改善,纳米划痕法测试膜基结合力表明其临界载荷可达到740mN,摩擦磨损实验可以看出镀膜后的样品的摩擦系数均在0.1左右,DLC薄膜可极大地改善钴铬合金的摩擦学性能.
关键词:过渡层; 膜基结合力; 摩擦学性能; 临界载荷;
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