力学薄膜的多层化强化
来源期刊：机械工程材料2001年第7期
论文作者：王国庆 谢致薇 蒙继龙
关键词：多层膜; 过渡层; 力学薄膜; 薄膜力学性能;
摘 要：采用多层膜系是进一步提高诸如TiN等力学薄膜性能的有效方法之一.综述了有关方面的研究情况.目前已经投入应用的各种氮化物薄膜是最简单的多层膜的原型,其内设的过渡层可改善膜/基附着力;多层膜性能与组层结构有关,适当的层间厚度(调制周期)可显著提高多层膜的力学性能,适当的亚层组合可获得同时兼具高硬度和良好韧性的力学薄膜.
王国庆1，谢致薇2，蒙继龙2
(1.广东工业大学轻工化工学院;
2.华南理工大学机械电子工程系;
3.广东工业大学材料与能源学院)
摘要:采用多层膜系是进一步提高诸如TiN等力学薄膜性能的有效方法之一.综述了有关方面的研究情况.目前已经投入应用的各种氮化物薄膜是最简单的多层膜的原型,其内设的过渡层可改善膜/基附着力;多层膜性能与组层结构有关,适当的层间厚度(调制周期)可显著提高多层膜的力学性能,适当的亚层组合可获得同时兼具高硬度和良好韧性的力学薄膜.
关键词:多层膜; 过渡层; 力学薄膜; 薄膜力学性能;
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