直流电弧法回收ITO废靶技术研究
来源期刊：材料开发与应用2012年第2期
论文作者：张雪凤 常鹏北 彭晖 刘冠鹏
文章页码：44 - 46
关键词：ITO废靶;直流电弧法;回收;ITO粉末;
摘 要：本文提出一种新型的ITO废靶回收技术,采用直流电弧法将ITO废靶气化制成纳米ITO粉末,实现废靶的回收。借助XRD（X射线衍射）和TEM（透射电子显微镜）等技术对粉末进行表征,发现经回收制备的ITO粉末为单一的立方In2O3结构,颗粒多以四方和类球形两种形貌存在,粒度尺寸在5-200nm范围内。
张雪凤1，常鹏北2，彭晖1，刘冠鹏1
1. 中国船舶重工集团公司第七二五研究所2. 昆明理工大学
摘 要：本文提出一种新型的ITO废靶回收技术,采用直流电弧法将ITO废靶气化制成纳米ITO粉末,实现废靶的回收。借助XRD（X射线衍射）和TEM（透射电子显微镜）等技术对粉末进行表征,发现经回收制备的ITO粉末为单一的立方In2O3结构,颗粒多以四方和类球形两种形貌存在,粒度尺寸在5-200nm范围内。
关键词：ITO废靶;直流电弧法;回收;ITO粉末;
