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铜基体上CVD金刚石厚膜的制备

来源期刊：无机材料学报2004年第4期

论文作者：张兵临杨仕娥马丙现姚宁高关胤

关键词：CVD; 金刚石厚膜; 铜基体;

摘要：用MWCVD方法在无预处理铜基体上获得了金刚石薄膜和厚膜.所得金刚石膜从基体上自动脱落,但形貌分析和Ramman分析表明,所得金刚石膜具有较好的质量.因此铜是制备金刚石厚膜的理想基体材料.

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张兵临¹，杨仕娥¹，马丙现¹，姚宁¹，高关胤¹

(1.郑州大学物理工程学院,郑州,450052)

摘要:用MWCVD方法在无预处理铜基体上获得了金刚石薄膜和厚膜.所得金刚石膜从基体上自动脱落,但形貌分析和Ramman分析表明,所得金刚石膜具有较好的质量.因此铜是制备金刚石厚膜的理想基体材料.

关键词:CVD; 金刚石厚膜; 铜基体;

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