大面积高质量金刚石自支撑膜热导率的影响因素研究
来源期刊：功能材料2006年第12期
论文作者：王耀华 吕反修 佟玉梅 牛得草 唐伟忠 郭世斌
关键词：金刚石自支撑膜; 热导率; 晶体结构; 晶粒尺寸;
摘 要：通过Raman、XRD、SEM分析方法分别对大面积高质量金刚石自支撑膜的质量、晶体结构、晶粒尺寸进行研究,分析它们对金刚石自支撑膜热导率的影响.研究结果表明,金刚石自支撑膜的质量对热导率的影响较大,质量越好,热导率越接近于天然金刚石的热导率;并且金刚石自支撑膜中晶体[220]取向度越高,热导率越高.形核面晶粒尺寸越大,晶粒间的晶界就减少,有利于提高金刚石自支撑膜的热导率.
王耀华1，吕反修1，佟玉梅1，牛得草1，唐伟忠1，郭世斌1
(1.北京科技大学,材料科学与工程学院,北京,100083)
摘要:通过Raman、XRD、SEM分析方法分别对大面积高质量金刚石自支撑膜的质量、晶体结构、晶粒尺寸进行研究,分析它们对金刚石自支撑膜热导率的影响.研究结果表明,金刚石自支撑膜的质量对热导率的影响较大,质量越好,热导率越接近于天然金刚石的热导率;并且金刚石自支撑膜中晶体[220]取向度越高,热导率越高.形核面晶粒尺寸越大,晶粒间的晶界就减少,有利于提高金刚石自支撑膜的热导率.
关键词:金刚石自支撑膜; 热导率; 晶体结构; 晶粒尺寸;
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